1、 Leybold 殘余氣體分析儀LEYSPEC概述

LEYSPEC 殘余氣體分析儀 （RGA） 產(chǎn)品系列可實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單直觀的操作。

只需按一下按鈕，您就可以顯示關(guān)鍵氣體的分壓，如果您的工藝涉及額外的氣體，您可以將其分配給備用顯示通道。

由于可實(shí)現(xiàn)的高烘烤溫度，LEYSPEC 非常適合用于要求苛刻的高真空和超高真空應(yīng)用。

2、加工原則

測(cè)量池是熱陰極電離真空計(jì)。電子從熱絲發(fā)射，并通過電偏置加速到源頭?？焖僖苿?dòng)的電子與氣體分子碰撞，使電子移位，從而使它們電離。正氣體離子將其電流提供給負(fù)負(fù)載的離子收集器。離子電流與壓力成正比。離子越多，離子電流越高。四極桿陣列由四根不銹鋼棒組成。直流和高頻電壓施加到所有桿上。這會(huì)產(chǎn)生復(fù)雜的磁場(chǎng)。通過改變電壓，磁場(chǎng)得到控制。

由此產(chǎn)生的振動(dòng)僅允許特定質(zhì)量的離子“飛過"它并到達(dá)檢測(cè)部分：

具有適當(dāng)質(zhì)荷比（m / e）的離子將以穩(wěn)定的三維軌跡通過兩極振蕩。

不正確的m/e離子將失控振蕩并與兩極碰撞

離子到達(dá)離子收集器并提供輸出電流，該電流是通過過濾器的離子相對(duì)豐度的量度。然后，離子電流或分壓相對(duì)于m/z比顯示在裝置或軟件中。

移動(dòng)式殘余分析儀系統(tǒng)

Leybold 殘余氣體分析儀LEYSPEC推車帶有集成的差動(dòng)泵系統(tǒng)，具有最大的靈活性和易于操作。

它是一個(gè)獨(dú)立的泵送系統(tǒng)，可輕松適應(yīng)各種測(cè)量任務(wù)，在各種壓力下具有快速的運(yùn)行準(zhǔn)備和可操作性。

我們的解決方案：

配備 SCROLLVAC 7 plus 和 TURBOVAC 350 i 的獨(dú)立泵送系統(tǒng) 

集成過程控制，操作快速簡(jiǎn)便

簡(jiǎn)單直觀的萊特格 RGA 軟件

集成在可獨(dú)立移動(dòng)的推車中

特高壓針閥，可在不同壓力水平直至大氣壓下靈活運(yùn)行

緊湊且簡(jiǎn)單

所有產(chǎn)品均配有集成顯示屏，操作簡(jiǎn)單快捷，LEYSPEC軟件則用于復(fù)雜的測(cè)試程序和殘余氣體分析。LEYSPEC產(chǎn)品系列尺寸緊湊，可安裝在任何方向，非常適合不同的內(nèi)置情況。

由于界面直觀，LEYSPEC殘余氣體分析儀非常易于操作。只需按一下按鈕，您就可以顯示關(guān)鍵氣體的分壓，如果您的工藝涉及額外的氣體，您可以將其分配給備用顯示通道

直觀的軟件

智能直觀的萊特軟件*了產(chǎn)品。用戶友好的界面允許廣泛的用例，從簡(jiǎn)單的操作到復(fù)雜的分析。創(chuàng)建食譜非常簡(jiǎn)單：快速方便。

在操作過程中，將顯示總壓力，并可以選擇不同的視圖來適應(yīng)視圖以進(jìn)行分析。在掃描模式、趨勢(shì)模式或模擬模式之間進(jìn)行選擇

高級(jí)功能

預(yù)安裝的軟件功能允許許多附加功能和測(cè)試程序，例如氦氣泄漏測(cè)試或?yàn)榭蛇x氣體設(shè)置警告和錯(cuò)誤級(jí)別。實(shí)現(xiàn)了可編程脫氣功能，用于啟動(dòng)或暴露在大氣中的簡(jiǎn)單工藝脫氣。背景抑制允許聚焦在重要的峰值上。