ess-mikromechanik壓力真空空氣軸承 DVL-50

DVL系列產品描述

真空預緊的空氣平面軸承通過同時進行吸力和排斥力固定在導向面上。通過專門調整壓力和真空度，空氣軸承的實際飛行高度和

取決于空氣軸承的剛度可以得到最佳調整，并適應相應的應用。此外，由于所述調整選項，該空氣軸承具有在垂直方向

上在亞微米范圍內發(fā)生位置變化的效果。

DVL系列技術描述

行程無限制

負載能力見表

駕駛-

控制-

安裝位置 任意

最大工作壓力 5 bar

工作溫度 15 至 35°C

儲存溫度 2 至 40°C

能力特點

可調節(jié)的剛度，亞微米范圍內的位置變化良好的泄氣保用特性。

有針對性地調整壓力和真空，實現最佳剛度

這些方便的動力裝置通過同時抽吸（真空）和推出（壓力）實現剛度的單獨調整值。

尺寸

底座直徑（A）50mm

底座高度（B）25mm

C 13.5mm

D 29mm

G M10x1，M12x1 

負載能力  375N

兼容組件

空氣軸承線性裝置構成了亞微米范圍內所有運動軸的基本組成部分。它們由不同的材料制成，具有高的精度。

由于這些組件彼此兼容，因此存在大量可能的變體。這些也是我們的客戶可以使用的這個精度等級中全面的

超精密導軌系統系列的基礎。

ess-mikromechanik壓力真空空氣軸承 DVL-50